導致伺服液壓機出現齒輪泵振動的原因如下：
1、齒輪泵是否從油箱中吸進有氣泡的油液。
2、查看電機與泵聯軸器的橡膠件是否破損或漏裝。破損或漏裝的話應該替換或補裝聯軸器的橡膠件。
3、查看單泵與電機的安裝同心度。應該按照規定要求來調整泵與電機的安裝同心度。
4、查看聯軸器的鍵或花鍵。磨損會造成回轉件的徑向跳動。
5、查看泵體與兩側端蓋直接接觸的端面密封件處。若接觸面的平面度達不到規定要求，則泵在工作時容易吸入空氣。 伺服液壓機可以在平板上用研磨膏按8字形路線來回研磨，也可以在平面磨床上磨削，使平面度不大于5mm，并保持平面與孔的垂直度要求。
6、查看泵的端蓋孔與壓蓋外徑之間的配合接觸處。若配合不好，空氣容易由此接觸處侵入。若壓蓋為塑料制品，由于其損壞或因溫度變化而變形，也會使密封件不嚴而進入空氣。可采用涂覆環氧樹脂等膠黏劑進行密封。
7、查看伺服液壓機泵內零件損壞或磨損情況。泵內零件損壞或磨損嚴重將產生振動與噪聲。如齒形誤差或齒距誤差大，兩齒輪接觸不好，齒面粗糙度高，公法線長度過差，齒側過小，兩呲合齒輪的接觸區不在分度圓位上。此時，可替換齒輪對研。
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